フェムト秒レーザー加工

フェムト秒レーザー加工

        フェムト秒レーザーによる極限微細加工のプロフェッショナル
        精密穴あけからエッチング、切断まで微細加工の限界を切り拓く

        ナノ秒レーザーとフェムト秒レーザー加工の違い
        ナノ秒(10-9秒) レーザー加工には熱の影響が大きいため、レーザ ー照射に伴うターゲット表面の加熱溶融によって、レーザー加工痕の周囲にはクレーターまたはリムと呼ばれる盛り上がりの 発生が特に顕著です。このリムの発生を抑えるために、もっとパルス幅が短いのフェムト秒(10-15秒)レーザー加工の場合には熱の影響が極めて小さく 、リムの発生はほぼ抑えることができます。

加工事例

＞   フェムト秒による超微細穴加工

窒化ケイ素への加工

材質: Si3N4
サイズ: 0.05 mm × 0.05 mm
R ≤ 0.005 mm

超硬合金

材質: モリブデン / タングステン
最小穴径: 0.015 mm±0.001mm 
厚さ: 0.2 mm

超多穴微細穴

材質: ステンレス
穴径: 0.09 mm ± 0.001 mm
厚さ: 0.6 mm

３次元形状の微細穴 (内側R加工)

材質: セラミック
深さ: 0.3 mm ± 0.001 mm
内面粗さ: Ra ≤ 0.4 μm

フェイルターノズルの穴加工

材質: 15-5PH CRES
穴径: 0.27 mm ± 0.002 mm
肉厚: 0.5 mm

ニッケル製グリッド (四方穴)

材質: ニッケル
穴径: 0.09 × 0.09 mm ± 0.001 mm
R ≤ 0.005 mm

米字形状の微細穴

材質: ステンレス
溝幅: 0.06 mm
精度: ± 0.002 mm

高分子材料微細穴

材質: PDMS
穴径: 0.007 mm ± 0.001 mm
厚さ: 0.05 mm

＞   フェムト秒による切断加工

モリブデン製品の切断加工

材質: モリブデン
サイズ: 0.1 mm ± 0.003 mm
精度: ± 0.005 mm

金属の超精密切断

材質: タングステン
最小幅: 0.005 mm 
厚さ: 0.3 mm

モリブデン電極切断

材質: モリブデン
切断幅: 0.19 mm ± 0.003 mm
厚さ: 0.05 mm

スリットプレート切断

材質: タングステン
スリット幅: 0.005 mm ± 0.001 mm
厚さ: 0.2 mm

＞   フェムト秒によるエッチング加工

金型エッチング加工 (ボス部)

材質: ステンレス
深さ: 0.065 mm
精度: ± 0.002 mm

止まり穴エッチング加工

材質: ステンレス
深さ: 0.05 mm ± 0.002 mm
直径: 0.12 mm ± 0.002 mm

六角穴エッチング加工

材質: ステンレス
深さ: 0.036 mm ± 0.001 mm
精度: ± 0.002 mm

止まり溝エッチング加工

材質: ステンレス
深さ: 0.04 mm
精度: ± 0.002 mm